半導體氣體傳感器的敏感體主要是由半導體材料制成的，其中應用為廣泛的半導體材料不是常見的硅、鍺半導體，而是金屬氧化物半導體，在氣體傳感器領域中應用多的金屬氧化物是SnO2，ZnO，Fe2O3，WO3等。

半導體式氣體傳感器的基本工作原理：就是在一定條件（溫度）下，在被測氣體到達半

導體表面并與吸附在半導體表面的氧發生化學反應的過程中伴隨電荷轉移，進一步引起半導體電阻的變化，通過測量半導體電阻的變化就可以實現對氣體的檢測。它的優點主要是在低濃度氣體中輸出變化大、靈敏度高，使用壽命長，選擇性相對比較好。

它缺點是線形度不好，所以只適合定性測量不適合定量測量。它在較高濃度下幾乎飽和，所以只能在濃度很底的情況下測量。另外他對毒性氣體的測量能力較差，所以現在的應用范圍基本局限在對可燃氣體的測量。